BS EN 62047-3-2006 半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样

作者:标准资料网 时间:2024-05-14 10:15:08  浏览:9035   来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Thinfilmstandardtestpiecefortensiletesting
【原文标准名称】:半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样
【标准号】:BSEN62047-3-2006
【标准状态】:现行
【国别】:英国
【发布日期】:2006-11-30
【实施或试行日期】:2006-11-30
【发布单位】:英国标准学会(BSI)
【起草单位】:BSI
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:组件;材料;微电子学;微系统技术;精密度;性能;样品;半导体器件;规范(验收);标准方法;符号;系统工程;拉伸应变;抗拉测试;测试;测试装置;测试系统;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
【英文主题词】:
【摘要】:ThisInternationalStandardspecifiesastandardtestpiece,whichisusedtoguaranteetheproprietyandaccuracyofatensiletestingsystemforthinfilmmaterialswithlengthandwidthunder1mmandthicknessunder10μm,whicharemainstructuralmaterialsformicroelectromechanicalsystems(MEMS),micromachinesandsimilardevices.ThisInternationalStandardisbasedonsuchaconceptthatatensiletestingsystemcanbeguaranteedinproprietyandaccuracy,whenthemeasuredtensilestrengthsofthestandardtestpieces,whosetensilestrengthispre-determined,arewithinthedesignatedrange.Italsospecifiesthetestpiecestominimizecharacteristicsdeviationamongthepieces.
【中国标准分类号】:L33
【国际标准分类号】:31_080_01
【页数】:12P;A4
【正文语种】:英语