DIN 50451-2-1990 半导体工艺用材料的检验.液体中金属微量的测定.用等离子感应的发射光谱测定氢氟酸中的钴(Co).铬(Cr).铜(Ca).铁(Fe)和镍(Ni)
作者:标准资料网 时间:2024-05-11 23:00:42 浏览:9416
来源:标准资料网
下载地址: 点击此处下载
【英文标准名称】:Determinationofcobalt,chromium,copper,ironandnickelasimpuritiesinhydrofluoricacidforuseinsemiconductortechnologybyplasma-inducedemissionspectrometry
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.液体中金属微量的测定.用等离子感应的发射光谱测定氢氟酸中的钴(Co).铬(Cr).铜(Ca).铁(Fe)和镍(Ni)
【标准号】:DIN50451-2-1990
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1990-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:痕量元素分析;金属;化学分析和试验;含量测定;铁;镍;分析;半导体工艺;材料试验;定义;铜;半导体;液体;半导体工程;材料;试验;钴;铬;氢氟酸;发射分光光度测定法;检定
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体工艺用材料的检验.液体中金属微量的测定.用等离子感应的发射光谱测定氢氟酸中的钴(Co).铬(Cr).铜(Ca).铁(Fe)和镍(Ni)
【标准号】:DIN50451-2-1990
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:1990-10
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:痕量元素分析;金属;化学分析和试验;含量测定;铁;镍;分析;半导体工艺;材料试验;定义;铜;半导体;液体;半导体工程;材料;试验;钴;铬;氢氟酸;发射分光光度测定法;检定
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:2P;A4
【正文语种】:德语
下载地址: 点击此处下载
